簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="近接曝光"


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    以近接曝光製作光學增亮膜研究
    • /95/ 碩士
    • 研究生: 楊文虎 指導教授: 趙振綱
    • 本論文為研究以近接曝光製作微結構應用於光學增亮膜之方法,利用兩種不同的光阻:JSR與AZP4620,個別探討其特性。針對負光阻JSR,利用TracePro模擬軟體建構出光學系統,以不同外型尺寸的結構…
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